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【媒体报道】福建华清：创新永不止步，引领氮化铝精密陶瓷全新赛道高纯氮化铝陶瓷具有卓越的热传导性，耐热性、绝缘性，热膨胀系数接近硅，且具有优异的等离子体抗性，产品热量分布均匀，可应用于晶片加热的加热器、静电吸盘等。此外，在航空航天、轨道交通、新能源汽车、高功率LED、5G通讯、电力传输、工业控制等领域中，氮化铝精密陶瓷通常作为关键装备零部件具有不可取代的作用。
▲氮化铝精密陶瓷 提到国内的氮化铝陶瓷企业，就不得不将目光放在堪称氮化铝陶瓷基板龙头的标杆企业——福建华清电子材料科技有限公司了。华清电子材料成立于2004年，引进清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室科研成果，通过多年产业化研发、量产改进、市场验证，成为国内首家采用流延法规模化生产高端氮化铝陶瓷基板的企业，在生产技术和工艺上具有独创性和领先性，填补了国内产业空白，已拥有专利80项，目前氮化铝陶瓷基板在国内产量和销量均排名第一。 粉体圈小编也曾前往华清拜访，从最早投入氮化铝陶瓷基板流延规模化生产，到如今占据该细分领域领先地位，华清付出了近二十年的沉淀心血，详见以下文章： 今天小编要讲的不是陶瓷基板，而是华清投入大量研发精力已取得成果的新产品业务： 据了解，华清近两年加大力度推进人才引进工作，先后引进十余名博士、硕士，40多名本科人才，极大地充实了公司的技术研发力量，核心人员在精密陶瓷行业近20年经验。在研发和生产设备的投入上也是逐步发力，现配置了国际先进的陶瓷生产、机械加工和检测设备，拥有流延成型，注射成型，干压成型，冷等静压成型、温等静压成型等多种成型设备和和成熟的工艺，实现了从陶瓷配方、成型、烧结和精加工的垂直整合，可以为客户提供最佳工艺方案。同时，华清还拥有独立的实验室和分析检测中心，可为客户提供定制化开发和快速分析检测服务。
精密陶瓷项目则是华清今年推进的重点项目。精密陶瓷是具有高性能和高精度的陶瓷，其应用领域广泛，涉及半导体制造装置、医学、光学、汽车、精密仪器等领域，该项目可以帮助企业进一步拓宽业务领域，扩大领先优势。 经历了在氮化铝陶瓷行业多年的技术沉淀，华清在氮化铝精密陶瓷领域开拓出新的赛道，精密陶瓷的一大技术门槛是产品尺寸精度，目前国内大部分氮化铝陶瓷产品尺寸精度仍停留在尺寸公差0.05mm，平面度0.02mm，表面粗糙度0.6um水平，华清则已经开始为国外客户提供更加精密微米级要求的氮化铝陶瓷，比如外径尺寸公差2um，内径尺寸公差5um，圆柱度3um，平面度3um，粗糙度20nm等产品。
值得一提的是，用于半导体制造装备的氮化铝陶瓷加热底盘，是高端氮化铝精密陶瓷的一大“卡脖子”产品，世界范围内只有京瓷等少数几家国外企业能生产，目前华清也实现了突破。这种加热底盘是作为工艺腔室中的晶片加热器，对产品纯度要求极高，具有高导热性和等离子体阻抗，且热量分布均匀，从粉体制备到陶瓷成型烧结和后段加工等一系列工序的把控要求都非常苛刻。
华清生产的氮化铝陶瓷加热底盘，可根据客户需求定制尺寸或特殊形状的产品，具有高导热性，可实现快速加热和快速冷却功能。从扫描电镜图片看，华清生产的氮化铝陶瓷晶粒粒径均匀，无明显晶粒偏大现象，能实现热量均匀性分布，无温差现象，可应用于半导体设备（PVD,CVD,ETCH，显影机等）关键核心零部件。
▲微观组织结构SEM照片 目前华清生产的精密陶瓷产品，主要包括氮化铝和氧化铝陶瓷两种材料，产品主要应用于半导体设备、电动汽车、充电桩、IGBT模块、储能电池、LED和激光设备、5G基站、光通讯模块、医疗设备、特种制冷器、散热器、加热器、高功率器件、OLED和金属冶炼、热分析仪器、研磨设备、传感器、烧结炉设备、金属化陶瓷等，产品远销美国、日本、韩国、俄罗斯等国家以及中国台湾等地区。
无论是氮化铝陶瓷基板，还是精密陶瓷，在国内都还属于尚处于技术与市场发展初期的新产业，行业技术壁垒高，长期以来受国外企业垄断，想要突围并不容易。做一个始终走在行业前列、“啃硬骨头”的先行者需要极大的决心与魄力，华清这近二十年的开拓之路，投入的资金成本及人员精力是难以估量的，但也只有这样敢于担当且始终以加强自身实力为第一位的企业才能做出如今的成绩。我们期待在精密陶瓷领域，华清能进一步带动国内氮化铝陶瓷市场走向兴盛。 未来，华清也将继续秉承“坚守初心，做好材料“之理念，以优质的产品和专业的服务，继续引领中国氮化铝陶瓷行业的高质量发展，为致力发展成为世界一流的电子陶瓷材料供应商而不懈努力。 |
